显微镜的历史
电子显微镜的发展
在19世纪末，X射线和电子在19世纪20年代末引入了电子镜头理论。20世纪初的高分辨率显微镜的发展是使用这些短波长光束作为光源的结果。透射电子显微镜（TEM）由德国初期于20世纪30年代初而发明，第一个商业TEM于1939年由西门子开发。扫描电子显微镜（SEM）的开发在同一时间TEM。接下来，是扫描透射电子显微镜（茎），由曼弗雷德阿列达在20世纪30年代后期开发，随后在20世纪40年代初由弗拉基米尔Zworykin开发了现代化的原型。然而，Zworykin的SEM解决了很低，因此在20世纪50年代，Charles Oatley在Charles Oatley的实验室的项目继续开发，导致1965年剑桥仪器生产的第一个商业综合理融研讨会。
电子显微镜超过光学显微镜的局限性，并大大改善了分辨率，使得可以将物体视为颗粒作为原子。
除了改进分辨率之外，还可以对电子显微镜进行许多增强功能。一个是在低真空下保持样品室的环境扫描电子显微镜的发展，以观察含有水分的样品。
