测量传感器

非接触式、高精度激光距离传感器、位置传感器和测量传感器。

阵容

激光分析器

2D和3D激光扫描仪/轮廓测量高度，台阶高度，面积，角度，半径，点对点，点对线和更多。

激光位移传感器

单点，非接触传感器测量距离，位置，或厚度与速度和精度。

光学测微仪/激光测微仪

一维和二维激光扫描和光学千分尺测量直径、螺距、宽角圆度、位置和半径。

三维干涉测量传感器

高精度三维测量面积可达10 x 10mm。三维白光干涉术只需要0.13秒就能产生没有死区的精确图像。

光谱干涉位移传感器

用纳米分辨率测量绝对距离的位移计。测量薄膜、晶圆片和其他光谱目标的高度或厚度。

电感位移传感器

高速测量距离，跳动，厚度，定位和偏心金属靶，跳动，厚度，定位和偏心。

LVDT /触点位移传感器(探头)

高精度和高度耐用的检测，高达0.1微米的分辨率。连接多个单元进行计算或比较。