三维干涉测量传感器

接触式测量设备不能用于软的或容易损坏的目标，因为它们对表面施加压力。3D干涉测量传感器不接触目标，可以使用任何材料或颜色的目标，包括透明，镜像，或黑色目标。

WI-5000系列3D干涉测量传感器不接触目标，因此它们甚至可以用于测量软合成橡胶和易损坏的透明玻璃。它们可以对无法进行接触测量的目标进行高度、深度和体积的非接触测量，例如透明密封剂和凝胶状粘合剂以及由不同反射率材料制成的精密电子设备。整个目标表面被捕获，而不仅仅是一个点，因此速度和稳定性远远优于一般测量设备。白光干涉测量使用高性能CMOS和具有宽动态范围的SLD光源，可一次性测量整个区域。此图像捕获不受目标材料或颜色的影响，即使对于透明或镜像目标、包括具有低反射率的黑色部分的目标或产生内部反射的半透明树脂也是如此。

对于使用三角测量的1D激光位移传感器，由于反射光被狭窄位置的凹痕阻挡而无法接收光时，可能会出现盲点。三维干涉测量传感器对整个表面进行同轴测量，因此目标轮廓不会出现盲点。

使用三角测量的一维激光位移传感器，由于存在盲点，可能无法进行测量。在反射光被狭窄的凹痕阻挡的地方，光线无法到达传感器的接收端，就会出现盲点。此外，接触位移传感器无法测量小于接触面积的压痕。WI-5000系列三维干涉测量传感器对整个表面进行同轴测量，因此在目标剖面内不会出现盲点。这些传感器消除了盲点，可以对电子设备和模压部件的小孔和间隙深度进行高度精确的一次性测量。检测区域内的不平整表面也可以精确测量，甚至可以精确到晶圆上的微观沟槽和孔。

使用一维激光位移传感器对点或线进行多点测量，耗时较长。传统区域摄像机的测量不稳定，因为它们不能聚焦于整个3D目标。三维干涉测量传感器通过快速测量整个表面，大大提高了检测周期时间。

由于需要在多个位置进行测量，因此使用1D激光位移传感器或接触式测量设备在一个区域上进行测量需要很长时间。传统的通用区域相机无法进行Z轴测量，因为很难对整个深3D目标进行聚焦。这些传统限制对于需要在线100%检查的目标来说可能是一个问题。WI-5000系列三维干涉测量传感器以高精度测量整个表面的高度、体积和三维轮廓。他们可以在0.13秒内对整个区域（最大尺寸为10×10 mm（0.39“×0.39”）进行一次性3D测量，大大缩短了在线检查周期。

WI-5000系列3D干涉测量传感器的宽动态范围允许批量测量目标的整体，即使它包含不同光反射率的材料。即使目标是一个带有金属终端(高反射率)和陶瓷封装(低反射率)的电子设备，也可以稳定地一次性测量整个3D轮廓。高度分布可通过彩色地图显示，并可显示具体位置的剖面图，直观检查包装平整度和终端缺陷细节。

使用接触粗糙度仪或三坐标测量机，接触的测量压力会压碎微小的毛刺，使测量不准确，大大增加了检测时间。在不接触目标的情况下，WI-5000系列3D干涉测量传感器可以在0.13秒内获得80000点高度数据，重复性为0.1 μm(0.000004”)。可以准确、快速地测量微毛刺的高度。没有由目标材料、颜色或光泽度引起的误差，也没有由目标压痕引起的盲点，该传感器可以立即用于不同产品类型的颜色和轮廓不同的模压产品的检查。

阀门底部是凹进去的，所以用测量设备用单点光进行三角测量需要时间。此外，盲点的出现是因为反射光被阻挡。仅在0.13秒内，WI-5000系列3D干涉测量传感器通过从上方照射整个目标表面，同轴获得80000点高度数据，甚至可以在没有盲点的情况下测量凹进式阀门底部。稳定和自动100%检查是可能的，因为测量不受目标材料，颜色或光泽度的影响。还可以同时获得阀孔位置信息，从而一次性确定冲程位置的合适性。

这种振荡一直被认为是驱动光学元件的弱点。KEYENCE开发了一种机制，可以在物理上尽可能地消除这种振荡，并将这种机制安装在我们的WI-5000系列3D干涉测量传感器中。结果是成功地消除了由于在情况下重心移动引起的振荡，这些振荡引起的测量误差，以及导致位移传感器缺陷的负载。高振动阻尼效应，稳定的测量，和高耐久性的传感器允许在工作现场无忧安装。

稳定的测量是可能的目标与不同的材料和颜色。WI-5000系列3D干涉测量传感器采用SLD光源和专用图像接收元件进行同轴测量，实现宽动态范围。不像一般的3D相机设置漫反射，他们不受光反射率的变化，由于材料，如透明，镜像，或黑色目标。三维轮廓、表面粗糙度和线条粗糙度测量都可以用于各种各样的材料和颜色。稳定和高度精确的测量是可能的，不仅对于均匀的材料和颜色，如玻璃和黑色橡胶，而且在装配过程后的检查中，目标包含不同的材料和颜色。

不。在这种情况下，高速测量的优点充分发挥出来。专用机架允许WI-5000系列用于近线检测。在这种情况下，位置校正功能允许高速和精确的检查，只需将目标放在舞台上。如果目标大于测量面积，可以使用专用自动工作台，自动按顺序测量指定位置。一个大的测量区域可以自动测量，易于设置，只需将目标放在台上，结果可以输出到电子表格软件。