案例研究客户感言-厚度
案例1:玻璃厚度测量
| 行业 | 半导体、LCD行业 |
|---|---|
| 应用程序 | 玻璃厚度测量 |
| 模型采用 | LK-G5000系列 |
我们曾经表演过188.博金宝 玻璃的使用激光位移传感器从另一个公司。跟踪错误发生在图案表面,我们似乎不能提高检查周期时间。使用KEYENCE的LK系列激光位移传感器,我们能够消除跟踪误差,提高检测周期时间。
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跟踪误差的产生是由于玻璃表面和一些图案表面的反射率不同。LK系列激光位移传感器提供了对发射时间和发射功率的高速控制,因此接收到的光不断优化的表面。这使得跟踪错误的影响最小化成为可能。
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案例2:多层薄膜的薄膜厚度测量
| 行业 | 电子电气工业 |
|---|---|
| 应用程序 | 多层膜的膜厚测量 |
| 模型采用 | SI-F系列 |
之前我们是用x射线膜厚仪测量透明多层膜的厚度。由于测量面积大,我们无法处理各种厚度的精细薄膜。使用KEYENCE的光谱干涉激光位移传感器,我们能够测量甚至很细的薄膜厚度,这使我们能够优化控制流量、压力和进料速度。
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SI系列光谱干涉激光位移传感器的厚度测量是用一个只有30µm的小光斑来完成的。这使得精确的测量一直到边缘。SI系列是检测绕组形状缺陷和防止卷带的有效工具。
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案例3:晶片厚度测量
| 行业 | 半导体、LCD行业 |
|---|---|
| 应用程序 | 硅片厚度测量 |
| 模型采用 | SI-R系列 |
采用接触式传感器测量硅片厚度。这些设备有时会损坏晶圆或引起其他问题,如划伤。因此,我们考虑采用非接触式测量系统。有了KEYENCE的SI-R系列,我们永远不必担心损坏晶圆。传感器头很小,所以我们可以将该设备安装到我们的设备中,以持续监测晶圆厚度。
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Si - r系列光谱干涉激光位移传感器采用近红外SLD,能够通过包括Si、GaAs、SiC、InP和a-Si在内的半导体进行传输。这允许精确的晶圆厚度测量,即使附加BG胶带。
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案例4:未切面片厚度测量
| 行业 | 食品行业 |
|---|---|
| 应用程序 | 未切面片厚度的测量 |
| 模型采用 | LK-G5000系列 |
为了检查面条的厚度,我们使用了手测微计。由于测量过程中接触压力的不同,我们的结果差异很大,特别是对于软面条。使用KEYENCE的LK系列激光位移传感器,我们能够在线处理厚度测量。由于LK系列采用非接触测量,我们能够解决操作误差的问题。
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我们的设备经常用于面条厚度的测量。在面条生产过程中,面粉一直存在于空气中。然而,LK系列激光位移传感器可以在不受面粉影响的情况下进行稳定的测量,这多亏了内置的中值滤波器,抵消了任何意外值。
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案例5:橡胶板厚度测量
| 行业 | 树脂及橡胶工业 |
|---|---|
| 应用程序 | 橡胶薄板厚度的测量 |
| 模型采用 | LK-G5000系列 |
我们以前使用传统的激光位移传感器在线测量橡胶板的厚度。但由于传感器无法支持更严格的产品公差,所以我们试用了KEYEN188bet在线CE公司的LK系列激光位移传感器。LK系列处理了更严格的公差,帮助我们解决了由于表面粗糙度造成的测量偏差问题。
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LK系列激光位移传感器的采样速度为392khz,是世界上最快的。在如此高的采样速度下,平均大量数据的能力允许稳定的厚度测量,即使在在线测量。
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案例6:电机铁芯层合厚度测量
| 行业 | 运输/金属工业 |
|---|---|
| 应用程序 | 电机铁芯层合厚度的测量 |
| 模型采用 | LK-G5000系列 |
对于叠层电机铁芯,设备性能的变化取决于叠层的数量。由于这个原因,我们首先直观地检查是否已经设置了指定的核心层数量。通过使用KEYENCE的LK系列激光位移传感器进行在线厚度测量,我们能够自动检测我们的产品。
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厚度测量要求微米级精度,以确定芯数是否在规定范围内。LK系列激光位移传感器采用光学设计,减少了表面粗糙度的影响,并利用专有组件实现高精度测量,而不管目标是什么。
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案例7:玻璃板密封胶厚度测量
| 行业 | 运输/金属工业 |
|---|---|
| 应用程序 | 玻璃板密封胶厚度测量 |
| 模型采用 | LJ-V系列 |
采用摄像机对玻璃板密封胶的应用情况进行了检测。摄像机允许我们进行涂层裂缝检查,但我们也需要检查密封胶的倾斜度。为此,我们采用了KEYENCE公司的LJ系列2D激光位移传感器。将传感器头固定在分配器上,我们不仅可以查看涂层裂缝,还可以测量密封剂的厚度、宽度和横截面面积。
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LJ系列2D激光位移传感器具有世界上最快的采样速度。即使在高速控制点胶机时,也可以测量所插入的螺距,从而防止密封故障。
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