光谱干涉位移传感器

利用KEYENCE的光谱干涉位移传感器，可以以纳米级分辨率测量绝对距离。这些专用传感器有时被称为光谱干涉仪，用于在各种行业中精确测量距离、位置和厚度。

包括停产系列

阵容

介绍世界上第一个微型头，具有同类产品中最高的测量精度和以前认为不可能达到的性能水平。

光谱干涉法，可实现1nm分辨率。

该系列包括超小型、远程和其他专用磁头，以匹配各种应用。

通过采用近红外SLD，即使贴上BG胶带，也可以单独测量晶圆的厚度。即使晶圆表面存在强烈的基于图案的变化，也可以进行精确的在线测量。