测量头im - 7030 t

模型

im - 7030 t

类型

头
接触高度测量单元

图像传感器

1英寸6.6百万像素单色CMOS

显示

10.4”液晶显示器(XGA: 1024 × 768)

接收透镜

双远心镜头

图像测量

视野

宽视场测量方式:300mm × 200mm11.81“×7.87”（4×R50）
高精度测量方式:225 × 125 mm8.86“×4.92”

最小显示装置

0.1µm

可重复性

W / o阶段运动

宽场测量方式:±1µm
高精度测量方式:±0.5µm

阶段活动

宽场测量方式:±2µm
高精度测量方式:±1.5µm

测量精度（±2σ）

W / o绑定

宽场测量方式:±5µm^＊1
高精度测量方式:±2µm^＊２

与绑定

宽场测量方式:±(7 + 0.02 L)µm^＊3
高精度测量方式:±(4 + 0.02 L)µm^＊4

光探针测量

可测量的区域(XY)

190×90mm7.48" × 3.54"

最大测量深度

30毫米1.18”

光探头直径

ø3毫米

测量力

0.015 N

可重复性

±2µm^*５

测量精度

±(8 + 0.02 L)µm^{* 6}

高程测量

测量范围

0至75毫米0“2.95”

测量力

0.3 N

测量精度（XY）

±0.2毫米^{* 7}±0.0079”

最小显示装置

1µm

可测量的区域(XY)

宽视场测量方式:145 × 95mm5.71“×3.74”
高精度测量方式:107.5 × 95mm4.23“×3.74”

可重复性

±2µm^{* 8}

测量精度

±7.5µm^{* 9}

接口

局域网

注册插孔- 45 (10 base - t / 100 base-tx / 1000 base - t)

USB 3.1

4端口(后端:4)

USB 2.0系列A

2端口(前:2)

外部远程输入

无电压输入(有和无接触)

外部输出

OK / NG /失败/量。

PhotoMos输出
额定负载24 VDC 0.5 A
电阻50米Ω 或更低

记录

硬盘驱动器

500 GB

照明系统

透明的

远心透明照明

环

四分区、多角度照明（电动）
狭缝环（方向性）照明（电动）

XY阶段

移动范围

200 × 100 mm7.87" × 3.94"(电动)

承受载荷

7.5公斤

Z级

移动范围

75毫米2.95”(电动)

电力供应

电源电压

100-240 VAC, 50/60 Hz

电力消耗

430 VA或更低

环境阻力

环境温度

+ 10°C到35°C+50华氏度至95华氏度

相对湿度

20% RH ~ 80% RH(无凝露)

重量

约35公斤