
三维干涉测量传感器
wi - 5000系列
传感器头wi - 004
规范
模型 |
wi - 004*1*2*3 |
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参考距离 |
18毫米0.71” |
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测量范围 |
Z |
1.4毫米0.06”(标准模式),0.7毫米0.03”(高速模式) |
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XY |
4 × 4mm0.16“×0.16” |
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最低检测区域 |
15 × 15µm0.000591“×0.000591” |
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重复性(高度差) |
0.1µm0.000004”*4 |
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线性(高度差) |
±2.8µm0.000110”(F.S.±0.2%,F.S. = 1.4 mm0.06”, +20至+30°C+ 68 + 86°F)*5 |
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测量光源 |
类型 |
红外SLD |
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中心波长 |
830海里 |
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激光类(IEC60825-1) |
3 r类 |
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输出 |
3.6兆瓦 |
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指导光源 |
类型 |
红色的半导体激光器 |
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波长 |
660海里 |
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激光类(IEC60825-1) |
类1 |
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输出 |
0.15兆瓦 |
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采样频率 |
内部触发 |
133ms(高速模式),266ms(标准模式) |
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外部触发 |
266 ms max。(高速模式),最多532毫秒。(标准模式)*6 |
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环境阻力 |
环境光 |
白炽灯/荧光灯:最大5000 lux |
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环境温度 |
0到+35°C32到95华氏度 |
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相对湿度 |
20 ~ 85% RH(无冷凝) |
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重量 |
约3000克 |
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*1FDA(CDRH)激光分类是基于IEC60825-1 IEC60825-1 IEC60825-1 IEC60825-1 IEC60825-1 IEC60825-1 IEC60825-1 IEC60825-1 IEC60825-1 IEC60825-1高度(头参考面到被测工件的距离)的分辨率为1µm(*2)。 |
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