三维干涉测量传感器

wi - 5000系列

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传感器头wi - 004

规范

模型

wi - 004*1*2*3

参考距离

18毫米0.71”

测量范围

Z

1.4毫米0.06”(标准模式),0.7毫米0.03”(高速模式)

XY

4 × 4mm0.16“×0.16”

最低检测区域

15 × 15µm0.000591“×0.000591”

重复性(高度差)

0.1µm0.000004”*4

线性(高度差)

±2.8µm0.000110”(F.S.±0.2%,F.S. = 1.4 mm0.06”, +20至+30°C+ 68 + 86°F*5

测量光源

类型

红外SLD

中心波长

830海里

激光类(IEC60825-1)

3 r类

输出

3.6兆瓦

指导光源

类型

红色的半导体激光器

波长

660海里

激光类(IEC60825-1)

类1

输出

0.15兆瓦

采样频率

内部触发

133ms(高速模式),266ms(标准模式)

外部触发

266 ms max。(高速模式),最多532毫秒。(标准模式)*6

环境阻力

环境光

白炽灯/荧光灯:最大5000 lux

环境温度

0到+35°C32到95华氏度

相对湿度

20 ~ 85% RH(无冷凝)

重量

约3000克

*1FDA(CDRH)激光分类是基于IEC60825-1 IEC60825-1 IEC60825-1 IEC60825-1 IEC60825-1 IEC60825-1 IEC60825-1 IEC60825-1 IEC60825-1 IEC60825-1高度(头参考面到被测工件的距离)的分辨率为1µm(*2)。
*2当使用KEYENCE标准目标测量单个矩形区域(*3)的平均高度30秒时,这是±3 σ值(自动维护模式关闭)。
*3矩形尺寸为WI-001: 0.3 mm × 0.9 mm0.01“×0.04”, WI-004: 1.1 mm × 3.7 mm0.04“×0.15”, WI-010: 3毫米× 9毫米0.12“×0.35”
*4这是使用KEYENCE标准目标测量两个矩形区域(*3)的平均高度差30秒时的σ值(自动维护模式关闭,捕捉时间为“优先精度”)。
*5这是使用KEYENCE标准目标测量两个矩形区域(*3)的平均高度差时的值(自动维护模式为OFF,捕获时间为“优先级精度”)。
*6捕获时工件停止时间为120ms(高速模式)或240ms(标准模式)。

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