传感器头部广域模型wi - 010

模型

wi - 010^{＊1＊2* 3}

参考距离

18毫米0.71”

测量范围

Z

1.4毫米0.06”(标准模式)，0.7毫米0.03”(高速模式)

XY

10 × 10毫米0.39“×0.39”

最低检测区域

40 × 40 μ m0.001575“×0.001575”

重复性(高度差)

0.1µm0.000004”^{* 4}

线性(高度差)

±2.8µm0.000110”(±0.2% F.S.， F.S. = 1.4 mm0.06”+20 ~ +30°C+ 68 + 86°F）^{* 5}

测量用光源

类型

红外SLD

中心波长

830海里

激光类(IEC60825-1)

3 r类

输出

3.6兆瓦

指导光源

类型

红色的半导体激光器

波长

660海里

激光类(IEC60825-1)

类1

输出

0.15兆瓦

采样频率

内部触发

133ms(高速模式)，266ms(标准模式)

外部触发

266 ms max。(高速模式)，最大532毫秒。(标准模式)^{* 6}

环境阻力

环境光

白炽灯/荧光灯:最大5000勒克斯。

环境温度

0 ~ +35℃32至95华氏度

相对湿度

20 ~ 85% RH(无凝露)

重量

约3000克