共焦位移传感器

cl - 3000系列

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规格共焦位移传感器cl - 3000系列

光学单位和传感器头-四类型

模型

CL-L007N*1

CL-L015N*1

CL-L030N*1

CL-L070N*1

图像

类型

光学单元

CL-L007*1

CL-L015*1

CL-L030*1

CL-L070*1

参考距离

7毫米0.28”

15毫米0.59”

30毫米1.18”

70毫米2.76”

参考测量范围

测量范围

±1.5毫米±0.06”

±1.3毫米±0.05”

±3.7毫米±0.15”

±10毫米±0.39”

线性

±2.1µm±0.000083”*2

±0.49µm±0.000019”*2

±0.94µm±0.000037”*2

±2.2µm±0.000087”*2

高精度测量范围

测量范围

±0.5毫米±0.02”

±1.0毫米±0.04”

±3.0毫米±0.12”

线性

±0.91µm±0.000036”*2

±0.41µm±0.000016”*2

±0.72µm±0.000028”*2

±2.0µm±0.000079”*2

决议

0.25µm0.000010”*3

光斑直径

ø750µmø0.0295”

ø300µmø0.0118”

ø500µmø0.0197”

ø600µmø0.0236”

激光类

光学单元

类1

采样周期

100/200/500/1000µs(可调4级)

环境阻力

外壳评级

IP67 (IEC60529)

环境光

目标表面照度30,000 lux(白炽灯)

环境温度

0到50°C32到122°F

相对湿度

20% RH ~ 85% RH(无凝结)

抗振性

10至57赫兹,双幅1.5毫米0.06”;X, Y, Z轴各2小时

光学单元

10至57赫兹,双幅0.3毫米0.01”;X, Y, Z轴各2小时

耐冲击性

女士15 g 6

温度特性

0.005% F.S. /°C

光学单元

0.015% F.S. /°C

材料

SUS

正面:SUS背面:铝

光学单元

聚碳酸酯

重量

约140克

约180克

约200克

约280克

光学单元

约1600克

*1传感器头和光学单元是一对匹配的。不是交叉兼容的。
*2用KEYENCE参考工件(镜面)在位移模式下测量的值。
*3值测量使用16384平均周期KEYENCE参考工件(镜像表面)。

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光学单位和传感器头-聚焦点类型

模型

CL-P007N*1

CL-P015N*1

CL-P030N*1

CL-P070N*1

CL-PT010N*1

图像

类型

光学单元

CL-P007*1

CL-P015*1

CL-P030*1

CL-P070*1

CL-PT010*1

参考距离

7毫米0.28”

15毫米0.59”

30毫米1.18”

70毫米2.76”

10毫米0.39”

参考测量范围

测量范围

±1.5毫米±0.06”

±1.3毫米±0.05”

±3.7毫米±0.15”

±10毫米±0.39”

±0.3毫米±0.01”

线性

±0.96µm±0.000038”*2

±0.49µm±0.000019”*2

±0.94µm±0.000037”*2

±2.2µm±0.000087”*2

±0.22µm±0.000009”*2

高精度测量范围

测量范围

±0.5毫米±0.02”

±1.0毫米±0.04”

±3.0毫米±0.12”

±0.15毫米±0.01”

线性

±0.55µm±0.000022”*2

±0.41µm±0.000016”*2

±0.72µm±0.000028”*2

±2.0µm±0.000079”*2

±0.2µm±0.000008”*2

决议

0.25µm0.000010”*3

光斑直径

ø50µmø0.0020”

ø25µmø0.0010”

ø38µmø0.0015”

ø50µmø0.0020”

ø3.5µmø0.000138”

激光类

光学单元

类1

采样周期

100/200/500/1000µs(可调4级)

环境阻力

外壳评级

IP67 (IEC60529)

IP64 (IEC60529)

环境光

目标表面照度30,000 lux(白炽灯)

环境温度

0到50°C32到122°F

相对湿度

20% RH ~ 85% RH(无凝结)

抗振性

10至57赫兹,双幅1.5毫米0.06”;X, Y, Z轴各2小时

10至57赫兹,双幅0.45毫米0.02”;X, Y, Z轴各2小时

光学单元

10至57赫兹,双幅0.3毫米0.01”;X, Y, Z轴各2小时

耐冲击性

女士15 g 6

温度特性

0.005% F.S. /°C

0.1% F.S. /°C

光学单元

0.015% F.S. /°C

材料

SUS

正面:SUS背面:铝

光学单元

聚碳酸酯

重量

约140克

约180克

约200克

约280克

约1100克

光学单元

约1600克

*1传感器头和光学单元是一对匹配的。不是交叉兼容的。
*2用KEYENCE参考工件(镜面)在位移模式下测量的值。
*3值测量使用16384平均周期KEYENCE参考工件(镜像表面)。(仅在CL-PT010上用4096个平均周期测量的值。)

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