超高速/高精度激光位移传感器

LK-G5000系列

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应用程序超高速/高精度激光位移传感器LK-G5000系列

粗的目标

电极厚度测量

圆盘转子的振动测量

气刀的位置控制

好目标

太阳能组件的有源层测量

变焦镜头装配精度

连接器高度测量

透明/镜像目标

测量触摸屏表面高度和气隙

有图案的晶圆片的z轴定位

读取器臂与介质之间的台阶高度测量

测量玻璃板厚度、翘曲度和平行度