光谱干预晶圆厚度表

Si-F80r系列

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控制器,没有显示单元,不受出口控制Si-F1003V

规格

模型

Si-F1003V

单独的类型

Si-F1003/Si-Fd500

类型

内置主控制器类型

No. of connectable spectrum units

2

展示

最小显示单元

0.001 µm

显示范围

±999.999 µm至±9999.99毫米(可以选择7个设置)

显示周期

10次​​/秒

终端块

激光远程互锁输入

非电压输入* 1

Timing1输入

RESET1输入

Auto-Zero1输入

激光控制输入

模拟电压输出

±10 V x 2输出,输出阻抗:100Ω* 1

模拟电流输出

4至20 mA x 2输出,最大载荷电阻:350Ω* 1

警报输出

NPN开放式输出(N.C.)* 1

一般比较器输出

NPN开放式输出* 1

扩展连接器

Timing2输入

非电压输入* 1

重置输入

自动零输入

程序开关输入

非电压输入x 3输入* 1

警报输出

NPN开放式输出(N.C.)* 1

比较器/二进制输出

二进制输出

测量的价值数据输出(21位)排除可选的NPN开放式收集器输出* 1

频闪输出

NPN开放式输出* 1

Binary selection output

二进制选择输入

非电压输入* 1

RS-232C接口

测量的数据输出和控制输入/输出(可选为115,200 bps的波特率最大)。

USB接口

USB 2.0高速兼容(USB 1.1全速兼容)

以太网接口

100base-tx/10base-t

主要功能

12淘汰同时测量
计算,平均,过滤器,缩放测量,测量值警报,公差设置,自动零,数据存储,光监视器,8个程序内存,
干涉仪模式,掩码,设置支持软件的连接等。188bet在线

评分

电压

24 VDC±10%,波纹(P-P)10%或更少

目前的消费

一个头连接:0.6 A或更少。连接六个头:1.5 A或更少。

环境阻力

环境温度

0至+50°C32至122°F*2

相对湿度

35至85%RH(无凝结)

振动阻力

10至55 Hz,双振幅0.5毫米0.02“在x,y和z方向的每个方向中,每个两个小时

重量

约。600克

* 1• NPN open-collector output rating: 50 mA max. (40 V max.), Residual voltage: 0.5 V max.
•非电压输入额定值:电压:1 V最大值,关闭电流:最大0.6 mA。
•SI系列的输入/输出电路的一部分是内部常见的。请注意,由于电缆/外部之间的电势差,内部常见终端之间没有产生电位差
设备。有关详细信息,请参阅“接线预防措施”。
*2当连接两个或多个膨胀控制器时,环境温度为0至+40°C32至104°F

其他型号