光谱干涉晶片测厚仪

SI-F80R系列

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不受出口管制的主要延伸单位SI-FA103

规范

模型

SI-FA103

单独的类型

类型

扩张控制器*1

不。可连接频谱单位

1

显示

最小显示装置

N/A

显示范围

显示周期

接线盒

激光远程联锁输入

N/A*2

TIMING1输入

RESET1输入

Auto-zero1输入

激光控制输入

模拟电压输出

±10 V × 1输出,输出阻抗:100 Ω*2

模拟电流输出

4 ~ 20ma × 1输出,最大负载电阻:350 Ω*2

报警输出

N/A*2

一般比较器输出

扩张连接器

TIMING2输入

复位输入

Auto-zero输入

程序切换输入

报警输出

比较器/二进制输出

二进制输出

选通脉冲输出

二元选择输出

二元选择输入

rs - 232 c接口

N/A

USB接口

以太网接口

主要功能

12 .同时测量
计算、平均、滤波、缩放测量、量值报警、公差设定、自动归零、数据存储、光控、8程序存储、
干涉仪模式、掩模、连接设置支持软件等。188bet在线

环境阻力

环境温度

温度范围:0 ~ +50℃32至122华氏度*3

相对湿度

35 ~ 85% RH(无凝露)

抗振性

10 ~ 55 Hz,双振幅0.5 mm0.02”, X、Y、Z方向各2小时

重量

约300克

*1主控制器上最多可连接4个扩展控制器。
*2•NPN集电极开路输出额定值:50 mA最大。(最大40v),剩余电压:最大0.5 V。
•无电压输入额定电压:ON电压:最大1v。,关断电流:0.6 mA max。
•SI系列的部分输入/输出电路内部是通用的。注意不要因为电缆/外部的电位差而导致内部公共端子之间产生电位差
设备。具体请参见“接线注意事项”。
*32个或2个以上级联控制器连接时,环境温度为0℃~ +40℃32至104华氏度

其他模型