
光谱干涉晶片测厚仪
SI-F80R系列
不受出口管制的主要延伸单位SI-FA103
规范
模型 |
SI-FA103 |
|||
单独的类型 |
||||
类型 |
扩张控制器*1 |
|||
不。可连接频谱单位 |
1 |
|||
显示 |
最小显示装置 |
N/A |
||
显示范围 |
||||
显示周期 |
||||
接线盒 |
激光远程联锁输入 |
N/A*2 |
||
TIMING1输入 |
||||
RESET1输入 |
||||
Auto-zero1输入 |
||||
激光控制输入 |
||||
模拟电压输出 |
±10 V × 1输出,输出阻抗:100 Ω*2 |
|||
模拟电流输出 |
4 ~ 20ma × 1输出,最大负载电阻:350 Ω*2 |
|||
报警输出 |
N/A*2 |
|||
一般比较器输出 |
||||
扩张连接器 |
TIMING2输入 |
|||
复位输入 |
||||
Auto-zero输入 |
||||
程序切换输入 |
||||
报警输出 |
||||
比较器/二进制输出 |
二进制输出 |
|||
选通脉冲输出 |
||||
二元选择输出 |
||||
二元选择输入 |
||||
rs - 232 c接口 |
N/A |
|||
USB接口 |
||||
以太网接口 |
||||
主要功能 |
12 .同时测量 |
|||
环境阻力 |
环境温度 |
温度范围:0 ~ +50℃32至122华氏度*3 |
||
相对湿度 |
35 ~ 85% RH(无凝露) |
|||
抗振性 |
10 ~ 55 Hz,双振幅0.5 mm0.02”, X、Y、Z方向各2小时 |
|||
重量 |
约300克 |
|||
*1主控制器上最多可连接4个扩展控制器。 |
||||

