控制器VK-X1000

模型

VK-X1000

类型

控制器

总放大

高达28,800 x^＊1

视场(最小距离)

11 μ m ~ 7398 μ m

帧率(激光测量速度)

4 ~ 125 Hz, 7900 Hz^＊2

测量原理

光学系统

针孔共焦光学系统，变焦

光接收元件

16位光电倍增管:高清彩色CMOS

扫描方法(一般测量和图像拼接时)

自动上下限位设置，高速光强优化(AAGII)，弱反射光强补充(双扫描)

高程测量

显示分辨率

0.5 nm (VK-X1100)， 5 nm (VK-X1050)

线性范围内

动态范围

16位

可重复性σ

激光共焦

20 x: 40 nm, 50 x: 12 nm (VK-X1100)
20 x: 40nm, 50 x: 20nm (VK-X1050)

焦点变化

5 x: 500 nm, 10 x: 100 nm, 20 x: 50 nm, 50 x: 20 nm (VK-X1100)
5 x: 500 nm, 10 x: 100 nm, 20 x: 50 nm, 50 x: 30 nm (VK-X1050)

高度数据采集范围

700000步

精度

0.2±L /100µm (L =测量长度)^＊3

宽度测量

显示分辨率

1 nm (VK-X1100)， 10 nm (VK-X1050)

可重复性3σ

激光共焦

20 x: 100 nm, 50 x: 40 nm (VK-X1100)
20 x: 100 nm, 50 x: 50 nm (VK-X1050)

焦点变化

5 x: 400 nm, 10 x: 400 nm, 20 x: 120 nm, 50 x: 50 nm (VK-X1100)
5 x: 400 nm, 10 x: 400 nm, 20 x: 120 nm, 50 x: 65 nm (VK-X1050)

精度

测量值±2%或以下^＊3

XY阶段配置

手动:工作范围

70毫米x 70毫米2.76”x 2.76”

机动:工作范围

100mm × 100mm3.94”x 3.94”

观察

观察图像

高分辨率彩色CMOS图像16位激光彩色共焦图像共焦+ ND滤波光学系统c激光差分干涉图像

照明

环形照明，同轴照明

测量激光光源

波长

紫色半导体激光器，404 nm (VK-X1100)
红色半导体激光器，661 nm (VK-X1050)

最大输出

1兆瓦

激光类

2类激光产品(IEC60825-1, FDA (CDRH) Part 1040.10^＊4）

电力供应

电源电压

100到240 VAC, 50/60 Hz

电力消耗

150年弗吉尼亚州

重量

约3.0公斤