测量头：红色半导体激光器VK-X1050

模型

VK-X1050

类型

主管单位

总放大率

高达28800 x^*1

视野（最小范围）

11µm至7398µm

帧速率（激光测量速度）

4至125赫兹，7900赫兹^*2

测量原理

光学系统

针孔共焦光学系统，焦点变化

光接收元件

16位光电倍增管：高清晰度彩色CMOS

扫描方式（一般测量和图像拼接时）

自动上限/下限设置，高速光强度优化（AAGII），不良反射光强度补充（双扫描）

高度测量

显示分辨率

5纳米

线性刻度

动态范围

16位

重复性σ

激光共焦

20倍：40纳米，50倍：20纳米

焦点变化

5X:500nm，10X:100nm，20X:50nm，50X:30nm

高度数据采集范围

70万步

精确

0.2+L/100µm或更小（L=测量长度）^*3

宽度测量

显示分辨率

10纳米

重复性3σ

激光共焦

20倍：100纳米，50倍：50纳米

焦点变化

5X:400nm，10X:400nm，20X:120nm，50X:65nm

精确

测量值±2%或更小^*3

XY级结构

手动：工作范围

70毫米x 70毫米2.76英寸x 2.76英寸

机动化：工作范围

100毫米x100毫米3.94英寸x 3.94英寸

观察

观测图像

高分辨率彩色CMOS图像16位激光彩色共焦图像共焦+ND滤波光学系统C激光差分干涉图像

照明

环形照明，同轴照明

测量激光光源

波长

红色半导体激光器，661nm

最大输出

1兆瓦

激光班

2类激光产品(IEC60825-1, FDA (CDRH)第1040.10部分)^*4)

电源

电源电压

100至240伏交流电压，50/60赫兹

功耗

150瓦

重量

约13.0千克