控制器VK-X120K

模型

VK-X120K

总放大

19200×^＊1

视场(最小距离)

16µm ~ 5400µm

帧率

激光测量速度

4 ~ 120hz, 7900hz^＊2

测量原理

光学系统

针孔共焦光学系统

光接收元件

16位光电倍增管

扫描方法(一般测量和图像拼接时)

自动上下限设定、高速光强优化(AAGII)、
反射光强度补充差(双扫描)

高程测量

显示分辨率

5海里

线性范围内

动态范围

16位

可重复性σ

20× 40 nm, 50× 20 nm，
100×20海里^＊3

用于z轴测量的存储器

140万步

精度

0.2+L/100µm或以下(L=测量长度)^＊3

Z阶段配置

结构

带有独立测量头的底座

最大样本高度

28毫米1.102”, 128毫米5.039”(选项)

宽度测量

显示分辨率

10纳米

可重复性3σ

20× 100 nm, 50× 50 nm，
100×30海里^＊3

精度

±2%^＊4

XY阶段配置

手动:工作范围

70毫米×70毫米2.76“×2.76”

机动:工作范围

50毫米× 50毫米1.97“×1.97”100毫米× 100毫米3.94“×3.94”^＊5

观察

观察图像

超高分辨率彩色CCD图像
16位激光彩色共焦图像
共焦ND滤光系统
c激光差分干涉像

最大捕获分辨率

3072×2304

测量激光光源

波长

红色半导体激光器，658 nm

最大输出

0.95兆瓦

激光类

二类激光产品(IEC60825-1)

重量

显微镜装置

约25公斤(分离传感器头:约25公斤)。8.5公斤)

控制器

约11公斤