三维激光扫描共焦显微镜
VK-X系列
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计量单位VK-X160K
规格
模型 |
VK-X160K |
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总放大率 |
至19200年*1 |
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视野（最小范围） |
16µm至5400µm |
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帧速率 |
激光测量速度 |
4至120赫兹，7900赫兹*2 |
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测量原理 |
光学系统 |
针孔共焦光学系统 |
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光接收元件 |
16位光电倍增管 |
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扫描方式（一般测量和图像拼接时） |
自动上限/下限设置，高速光强度优化（AAGII）， |
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高度测量 |
显示分辨率 |
5纳米 |
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线性刻度 |
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动态范围 |
16位 |
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重复性σ |
20×40纳米，50×20纳米， |
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Z轴测量用存储器 |
140万步 |
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精确 |
0.2+L/100µm或更小（L=测量长度）*3 |
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Z级配置 |
结构 |
带独立测量头的底座 |
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最大样本高度 |
28毫米1.102"，128毫米5.039"（可选） |
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宽度测量 |
显示分辨率 |
10纳米 |
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重复性3σ |
20×100nm，50×50nm， |
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精确 |
±2%*4 |
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XY级结构 |
手动：工作范围 |
70mm×70mm2.76" × 2.76" |
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机动化：工作范围 |
50mm×50mm1.97" × 1.97"100mm×100mm3.94" × 3.94"*5 |
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观察 |
观测图像 |
超高分辨率彩色CCD图像 |
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最大捕获分辨率 |
3072×2304 |
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测量激光光源 |
波长 |
658nm红色半导体激光器 |
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最大输出 |
0.95兆瓦 |
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激光班 |
2类激光产品（IEC60825-1） |
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重量 |
显微镜装置 |
约25 kg（分离的传感器头：约8.5 kg） |
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控制器 |
约11公斤 |
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*1用于23英寸显示器。 |
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