计量单位VK-X260K.

VK-X260K - 测量单元

规格

模型		VK-X260K.
总放大率		高达28000×^{* 1}
视野（最小范围）		11μm至5400μm
帧率	激光测量速度	4至120 Hz，7900 Hz^{* 2}
测量原则	光学系统	针孔共焦光学系统
	光接收元素	16位光电倍数
	扫描方法（一般测量和图像拼接期间）	自动上/下限设置，高速光强度优化（AAGII），差反射光强度补充（双扫描）
高度测量	显示分辨率	0.5 nm.
	线性比例
	动态范围	16位
	重复性σ.	20×40 nm，50×12 nm， 150×12 nm^{* 3.}
	用于Z轴测量的内存	1400万步
	准确性	0.2 + L /100μm以下（L =测量长度）^{* 3.}
Z级配置	结构	基于单独的测量头
	最大样本高度	28毫米1.102“，128毫米5.039“（选项）
宽度测量	显示分辨率	1nm.
	重复性3σ.	20×100nm，50×40 nm， 150×20nm^{* 3.}
	准确性	±2％^{* 3.}
XY舞台配置	手册：操作范围	70毫米×70毫米2.76“×2.76”
	机动：工作范围	50毫米×50毫米1.97“×1.97”100毫米×100毫米3.94“×3.94”^{* 4.}
观察	观察图像	超高分辨率颜色CCD图像 16位激光彩色共焦图像 Confocal + ND滤波器光学系统 C激光差分干涉图像
	最大捕获分辨率	3072×2304
测量激光光源	波长	紫色激光器，408 nm
	最大输出	0.95兆瓦
	激光类	2类激光产品（IEC60825-1）
重量	显微镜装置	约。26公斤（传感器头独立：约10千克）
	控制器	约。11千克
^{* 1}对于23英寸显示器。 ^{* 2}在使用测量模式/测量质量/镜头放大的组合时，在最高速度下。当线路扫描具有在0.1μm内的测量间距时。 ^{* 3.}在环境温度为20±2°C的环境温度下测量标准样品（标准刻度）时（标准刻度）68±3.6°F。但是，不适用于带有100×镜头的VK-X120 / 130。 ^{* 4.}安装电动级时。

其他型号