3 d表面分析器

VK-X3000系列

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3 d表面分析器VK-X3000系列

现在配备了白光干涉测量,从纳米到毫米

三重扫描方法-超越传统光学轮廓仪

  • 测量的目标范围从纳米到微米到毫米
  • 一体化测量系统,深入分析

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VK-X3000系列-三维表面轮廓仪

VK-X3000三维表面轮廓仪采用激光共焦扫描、聚焦变化、白光干涉测量等三重扫描方式,可对任意目标进行高精度测量和分析。VK-X3000的分辨率为0.01 nm,可以扫描区域达50 x 50 mm(1.97“x 1.97”),允许测量目标的整体形状,同时仍然保持对微小表面特征分析的高分辨率。KEYENCE的新3D表面剖面仪可以处理任何目标,包括那些具有透明或镜像表面、高度变化大或角度陡峭的目标。

特性

光学性能分析基础知识

观察

广泛的放大范围,从光学显微镜到sem

  • 放大倍数可达28800倍
  • 自动聚焦
  • 观察任何材料

测量

即时、非接触式表面扫描

  • 没有目标的伤害
  • 精确测量微小
  • 适用于任何形状或材料

分析

前所未有的表面特征

  • 甚至对最详细的形状进行量化
  • 区分表面容易
  • 粗糙度分析

精确扫描,不受材料和形状的影响

白光干涉/激光共聚焦/聚焦变化

  • 精确测量陡峭的斜坡和倾斜的表面
  • 一流的XY分辨率可以确保捕获最小的特性
  • 在透明或高反射表面上没有数据丢失

高分辨率彩色观察捕捉真实生活的图像

  • 材料的纹理,形状和其他表面条件清楚显示
  • 彩色图像可以立即确定测量的位置
  • 高倍成像高达28,800倍提供额外的分析能力

292种不同的测量工具允许无与伦比的表面分析

一个系统可以进行从轮廓测量到粗糙度表征的多种分析。

测量平坦和不平坦的表面

毫米、微米和纳米在一个设备上测量。