三维光学表面光度仪vr - 6000系列

VR-6000光学轮廓仪执行非接触式测量，取代手写轮廓仪和粗糙度仪。该三维轮廓系统以0.1 μm的分辨率捕获整个目标表面的数据，能够测量探头类型的仪器无法完成的特征。新型的旋转扫描极大地扩展了系统的测量能力。真实的横截面测量可以在没有盲点的情况下进行。在不切割或破坏目标的情况下，可以测量壁厚和凹陷特征。此外，HDR扫描算法提供增强的扫描能力，即时确定最佳设置，以捕捉高质量的数据，即使在光滑和哑光表面。