共焦位移传感器

cl - 3000系列

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光学单元(紧凑ø8・・四类型出口管制产品)CL-L007G

规范

模型

CL-L007G*1

类型

光学单元

CL-L007*1

参考距离

7毫米0.28”

参考测量范围

测量范围

±1.5毫米±0.06”

线性

±1.95µm±0.000077”*2

高精度测量范围

测量范围

±0.5毫米±0.02”

线性

±0.78µm±0.000031”*2

决议

0.015µm*3

光斑直径

ø750µmø0.0295”

激光类

光学单元

类1

采样周期

100/200/500/1000µs(可调4级)

环境阻力

外壳评级

IP67 (IEC60529)

环境光

目标表面照度30,000 lux(白炽灯)

环境温度

0 ~ 50℃32到122°F

相对湿度

20% RH ~ 85% RH(无凝露)

抗振性

10至57赫兹,双幅1.5毫米0.06”;X, Y, Z轴各2小时

光学单元

10至57赫兹,双幅0.3毫米0.01”;X, Y, Z轴各2小时

耐冲击性

15g 6ms

温度特性

0.005% F.S./°C

光学单元

0.015% F.S./°C

材料

SUS

光学单元

聚碳酸酯

重量

约140克

光学单元

约1600克

*1传感器头和光学单元是一对匹配的。不是交叉兼容的。
*2用KEYENCE参考工件(镜面)在位移模式下测量的值。
*3值测量使用16384平均周期KEYENCE参考工件(镜像表面)。

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