共焦位移传感器

cl - 3000系列

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光学单元(15毫米・・四类型出口管制产品)CL-L015G

规范

模型

CL-L015G*1

类型

光学单元

CL-L015*1

参考距离

15毫米0.59”

参考测量范围

测量范围

±1.3毫米±0.05”

线性

±0.36µm±0.000014”*2

高精度测量范围

测量范围

±0.5毫米±0.02”

线性

±0.28µm±0.000011”*2

决议

0.003µm* 3

光斑直径

ø300µmø0.0118”

激光类

光学单元

类1

采样周期

100/200/500/1000µs(4级可调)

环境阻力

外壳评级

IP67 (IEC60529)

环境光

靶面照度30000勒克斯(白炽灯)

环境温度

0℃~ 50℃32至122华氏度

相对湿度

20% RH ~ 85% RH(无凝露)

抗振性

10 ~ 57 Hz,双振幅1.5 mm0.06”;X, Y, Z轴各2小时

光学单元

10 ~ 57 Hz,双振幅0.3 mm0.01”;X, Y, Z轴各2小时

耐冲击性

15g 6ms

温度特性

0.005% F.S./°C

光学单元

0.015% F.S./°C

材料

前:SUS后:铝

光学单元

聚碳酸酯

重量

约180克

光学单元

约1600克

*1传感器头和光单元是一对匹配的。不是交叉兼容的。
*2用KEYENCE基准工件(镜面)位移模式测量值。
* 3使用KEYENCE基准工件(镜面)平均循环16384次测量值。

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