共聚焦位移传感器

CL-3000系列

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光学单元(30 mm·四型·出口控制产品)CL-L030G.

规格

模型

CL-L030G.* 1

类型

光学单元

CL-L030* 1

参考距离

30毫米1.18“

参考测量范围

测量范围

±3.7毫米±0.15“

线性

±0.81μm±0.000032“* 2

高精度测量范围

测量范围

±1.0 mm±0.04“

线性

±0.59μm±0.000023“* 2

解析度

0.015μm.* 3.

斑点直径

Ø500μm.Ø0.0197“

激光类

光学单元

1级

抽样周期

100/200/500/1000μs(可调节4级)

环境抵抗力

外壳评级

IP67(IEC60529)

环境光

目标表面照度30,000勒克斯(白炽灯)

环境温度

0到50°C32到122°F

相对湿度

20%RH至85%RH(无凝结)

抗振

10至57 Hz,双幅度1.5毫米0.06“;每个用于x,y和z轴2小时

光学单元

10至57 Hz,双幅度0.3毫米0.01“;每个用于x,y和z轴2小时

抗冲击

15克6毫秒

温度特征

0.005%的F.S./°

光学单元

0.015%的F.S./°

材料

前部:SUS后部:铝

光学单元

聚碳酸酯

重量

约。200 G.

光学单元

约。1,600克

* 1传感器头和光学单元是匹配的对。没有交叉兼容。
* 2以位移模式下测量的值,具有keyence参考工件(镜面)。
* 3.使用16,384平均循环测量的值,具有keyence参考工件(镜面)。

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