共焦位移传感器

cl - 3000系列

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光学单元(70毫米・四类型)CL-L070N

规范

模型

CL-L070N*1

类型

光学单元

CL-L070*1

参考距离

70毫米2.76”

参考测量范围

测量范围

±10毫米±0.39”

线性

±2.2µm±0.000087”*2

高精度测量范围

测量范围

±3.0毫米±0.12”

线性

±2.0µm±0.000079”*2

决议

0.25µm0.000010”*3

光斑直径

ø600µmø0.0236”

激光类

光学单元

类1

采样周期

100/200/500/1000µs(可调4级)

环境阻力

外壳评级

IP67 (IEC60529)

环境光

目标表面照度30,000 lux(白炽灯)

环境温度

0到50°C32到122°F

相对湿度

20% RH ~ 85% RH(无凝结)

抗振性

10至57赫兹,双幅1.5毫米0.06”;X, Y, Z轴各2小时

光学单元

10至57赫兹,双幅0.3毫米0.01”;X, Y, Z轴各2小时

耐冲击性

女士15 g 6

温度特性

0.005% F.S. /°C

光学单元

0.015% F.S. /°C

材料

正面:SUS背面:铝

光学单元

聚碳酸酯

重量

约280克

光学单元

约1600克

*1传感器头和光学单元是一对匹配的。不是交叉兼容的。
*2用KEYENCE参考工件(镜面)在位移模式下测量的值。
*3值测量使用16384平均周期KEYENCE参考工件(镜像表面)。

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