共焦位移传感器

cl - 3000系列

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光学单元(30毫米・集中地点类型・出口管制产品)CL-P030G

规范

模型

CL-P030G*1

类型

光学单元

CL-P030*1

参考距离

30毫米1.18”

参考测量范围

测量范围

±3.7毫米±0.15”

线性

±0.81µm±0.000032”*2

高精度测量范围

测量范围

±1.0毫米±0.04”

线性

±0.59µm±0.000023”*2

决议

0.015µm*3

光斑直径

ø38µmø0.0015”

激光类

光学单元

类1

采样周期

100/200/500/1000µs(可调4级)

环境阻力

外壳评级

IP67 (IEC60529)

环境光

目标表面照度30000 lux(白炽灯)

环境温度

0到50°C32到122华氏度

相对湿度

20% RH ~ 85% RH(无冷凝)

抗振性

10至57赫兹,双倍振幅1.5毫米0.06”;X, Y, Z轴各2小时

光学单元

10至57赫兹,双振幅0.3毫米0.01”;X, Y, Z轴各2小时

耐冲击性

15g 6 ms

温度特性

0.005% F.S./°C

光学单元

0.015% F.S./°C

材料

前:SUS后:铝

光学单元

聚碳酸酯

重量

约200克

光学单元

约1600克

*1传感头与光学元件为一对配对。不是交叉兼容的。
*2用KEYENCE参考工件(镜像面)在位移模式下测量的值。
*3值测量使用16,384平均周期与KEYENCE参考工件(镜像表面)。(仅在CL-PT010上用4,096个平均周期测量值。)

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