共焦位移传感器

cl - 3000系列

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光学单元(70毫米・集中地点类型)CL-P070N

规范

模型

CL-P070N*1

类型

光学单元

CL-P070*1

参考距离

70毫米2.76”

参考测量范围

测量范围

±10毫米±0.39”

线性

±2.2µm±0.000087”*2

高精度测量范围

测量范围

±3.0毫米±0.12”

线性

±2.0µm±0.000079”*2

决议

0.25µm0.000010”*3

光斑直径

ø50µmø0.0020”

激光类

光学单元

类1

采样周期

100/200/500/1000µs(4级可调)

环境阻力

外壳评级

IP67 (IEC60529)

环境光

靶面照度30000勒克斯(白炽灯)

环境温度

0到50°C32到122°F

相对湿度

20% RH ~ 85% RH(无凝露)

抗振性

10 ~ 57 Hz,双振幅1.5 mm0.06”;X, Y, Z轴各2小时

光学单元

10 ~ 57 Hz,双振幅0.3 mm0.01”;X, Y, Z轴各2小时

耐冲击性

女士15 g 6

温度特性

0.005% F.S. /°C

光学单元

0.015% F.S. /°C

材料

前:SUS后:铝

光学单元

聚碳酸酯

重量

约280克

光学单元

约1600克

*1传感器头和光单元是一对匹配的。不是交叉兼容的。
*2用KEYENCE基准工件(镜面)位移模式测量值。
*3使用KEYENCE基准工件(镜面)平均循环16384次测量值。(仅在CL-PT010上用4096次平均循环测量值。)

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