
表面扫描激光共焦位移计
LT-9000系列
表面扫描激光共焦位移计LT-9000系列
LT-9000系列传感器结合了表面扫描和共焦设置的优点,提供高分辨率位移测量。这些位移计利用一个只有ø2µm(ø0.000079”)的微小束斑,它横穿表面,在微观目标和特征上产生稳定的结果。表面扫描可实现倾斜或粗糙表面的高精度测量,而共焦设计提高了薄膜的可靠性,使LT-9000系列非常适合任何需要高性能的应用。内置摄像头捕捉器可清晰显示表面图像,便于识别测量位置并适当对齐传感器。
特征
- 高精度表面扫描法
- 分辨率高达0.01密耳(0.3µm)
- 快速简便的设置功能
- 多种测量模式,适用范围广泛

