表面扫描激光共焦位移计

LT-9000系列

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传感器头,不带摄像头功能LT-9010

规格

模型

LT-9010

测量范围

±0.3毫米±0.01"

参考距离

6毫米0.24"

光源

类型

红色半导体激光器

波长

655纳米

输出

170µW(JIS)

激光班

第1类(JIS)

光斑直径

约2µmø0.000079"

扫描宽度/间隔

0至1100µm0至0.0433“(6步)/1至10µm0.000039至0.000394“(4个步骤)

决议

0.01µm*1

线性

±0.5%的F.S。*1

采样周期

640µs至356 ms(14级)*2

显微镜功能

功能存在/不存在

不适用

显微镜功能

视野

类型

照明光源

温度特性(20至30摄氏度(68至86华氏度))

±0.5%的F.S。

环境抗性

环境光

白炽灯/荧光灯:最大10000勒克斯。

环境温度

0至+35°C32至95华氏度

相对湿度

相对湿度35%至85%(无冷凝)

重量

约400克

*1使用镜面反射对象作为具有位移模式的目标,扫描宽度/间隔设置为120µm/2µm,平均测量设置为8。
*2采样周期中存在个别变化。这些值是在精细模式关闭时采集的。

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