
彩色三维激光扫描显微镜
VK-8700/9700 GenerationII系列
建议更换产品:3D表面轮廓仪- VK-X3000系列
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机动XY阶段VK-S105
规范
模型 |
VK-S105 |
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运动的方向 |
X、Y轴 |
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中风 |
50×50毫米1.969”x 1.969” |
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表的大小 |
100 x100毫米3.937”x 3.937” |
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指导方法 |
跨导辊装置 |
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饲料的方法 |
精密螺杆,导程:1毫米 |
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轴惯性转换 |
X轴:9.29 × 10-7公斤·米2, Y轴:9.62 × 10-7公斤·米2 |
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电动机 |
0.35 A/相,5相步进电机,5线五角形接线,持矩0.017 N m,转子惯性4.2 g·cm2 |
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决议 |
1µm |
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定位精度 |
10µm |
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重复定位精度 |
±1µm |
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反弹 |
1µm |
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失去了运动 |
3µm |
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直觉(水平/垂直) |
5µm |
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并行性的 |
X: 10 μ m, Y: 10 μ m |
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XY一丝不苟 |
10µm |
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负载能力 |
3公斤 |
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主要材料/大纲 |
铝合金,黑色铝光洁度 |
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重量 |
2.5公斤 |
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