三维光学表面光度仪

vr - 6000系列

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三维光学轮廓仪头(标准型号)vr - 6100

VR-6100 - 3D光学轮廓仪头(标准型号)

  • CE标志
  • CSA

规范

模型

vr - 6100

类型

控制器

vr - 6000

的视野

低放大倍率(宽视场)

在15英寸显示器上放大12倍

水平

24.0毫米0.94”

垂直

18.0毫米0.71”

在15英寸显示器上放大25倍

水平

12.0毫米0.47”

垂直

9.0毫米0.35”

在15英寸显示器上放大38倍

水平

8.0毫米0.31”

垂直

6.0毫米0.24”

在15英寸显示器上放大50倍

水平

垂直

4.5毫米0.18”

高倍率(高分辨率)

在15英寸显示器上放大40倍

水平

7.6毫米0.30”

垂直

5.7毫米0.22”

在15英寸显示器上放大80倍

水平

3.8毫米0.15”

垂直

2.9毫米0.11”

在15英寸显示器上放大120×

水平

2.5毫米0.10”

垂直

1.9毫米0.07”

在15英寸显示器上放大160×

水平

垂直

1.4毫米0.06”

变焦

1×4×

高程测量

显示分辨率

0.1μm

高度测量范围

没有Z缝合

低放大倍率(宽视场):10毫米0.39”
高倍放大(高分辨率):1毫米0.04”

与Z缝合

低放大倍率(宽视场):50毫米1.97”
高倍放大(高分辨率):30毫米1.18”

重复性(σ)

没有Z缝合

0.4μm*1

与Z缝合

1.0μm*1

测量精度

没有Z缝合

±2.5μm*1

与Z缝合

±4.0μm*1

宽度测量

重复性(σ)

低放大倍率(宽视场):1 μm
放大倍数(高分辨率):0.5 μm
*1

测量精度

低倍率(宽视场):±5 μm
放大倍率(高分辨率):±2 μm
*1

缝线功能

手动测量(XY手动操作+ Z自动控制)*2

缝线功能

电动旋转单元

不支持188bet在线

XY可衡量的范围

92 × 86毫米3.62“×3.39”*2

阶段

XY中风

70 × 70mm2.76“×2.76”(手动)

Z中风

69毫米2.72”(电动)

负载能力

4.5公斤9.92磅

工作距离

75毫米2.95”

图像接收元素

400万像素的单色CMOS

发射机的镜头

双远心镜头× 2

接收机的镜头

Double-telecentric镜头

光源

观察光源

LED环形灯(红、蓝、绿)

测量光源

白光LED

数据处理

KEYENCE指定专用PC(操作系统:Windows 10 Pro)

电力供应

电源电压

100至240 VAC±10%,50/60 Hz

电力消耗

200 VA马克斯。

环境阻力

环境温度

+ 15到30°C+ 59到86°F

相对湿度

20 ~ 80% RH(无凝露)

重量

大约25公斤55.12磅*3

*1使用KEYENCE指定的标准量规,在KEYENCE指定的测量模式下(环境温度:23±1℃)测量得到的值73.4±1.8°F
*2需安装测量扩展模块(VR-H4J)
*3仅测量单位重量:约11kg24.25磅

其他模型