关于共聚焦显微镜的功能和操作,有许多方面需要考虑。
共焦显微镜在光接收元件的前面包含一个针孔,以阻挡环境光和离焦光。这使得显微镜可以使用反射最强光的位置作为真实高度。以下部分描述了KEYENCE 3D激光扫描共焦显微镜检测过程的各个步骤。
以下部分将分四个步骤解释共焦原理。
共聚焦显微镜的光通过物镜透射到目标上。
光线通过物镜聚焦在目标所需测量区域的焦点上。
一面半镜面反射来自共聚焦显微镜的光
定位在焦点上的目标通过一个半镜面反射来自共聚焦显微镜的光,使它击中光接收元件。
共聚焦显微镜测量的物体在焦点处:激光利用针孔进行集中
光线穿过针孔,使所有反射光击中共聚焦显微镜的光接收元件。
只有穿过针孔的光才会聚焦;来自共聚焦显微镜的其余光线被掩膜区域吸收
如果目标不在焦点上,光就聚焦在针孔偏移的点上,这就扩大了来自共聚焦显微镜的光束,这样光就不再聚焦在针孔上了。这意味着射入光接收元件的光量减少了。共聚焦显微镜根据返回到光接收元件的反射光的强度来检测目标是否在焦点上。因此,光只能到达目标聚焦区域的光接收单元,而被其他区域阻挡。
的KEYENCE三维激光扫描共焦显微镜使用共聚焦原理与激光点扫描器串联,使快速,准确,自动测量与一个单一的点击。